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Description
This book focuses on the remarkable recent advances in understanding low pressure radio frequency glow discharges. It explains the basic analytical theory, plasma physics, and plasma diagnostics, before proceeding to the details of the etching process.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 356
- Langue:
- Anglais
- Collection :
- Tome:
- n° 7
Caractéristiques
- EAN:
- 9780198562870
- Date de parution :
- 30-07-98
- Format:
- Livre relié
- Format numérique:
- Genaaid
- Dimensions :
- 156 mm x 234 mm
- Poids :
- 680 g
