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Wafer Fabrication

Automatic Material Handling System

Jie Zhang
Livre relié | Anglais
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Description

This book systematically introduces modeling, performance evaluation and applications of Automatic Materiel Handling System (AMHS) in semiconductor manufactucing, and focuses discussion on the coordination of two subsystems. Resources dispatch and optimization are conducted on operational research combined with cases studies. Written in a practical way, it is an essential reference for researchers and engineers in manufacturing and management.

Spécifications

Parties prenantes

Auteur(s) :
Jie Zhang
Editeur:
De Gruyter

Contenu

Nombre de pages :
284
Langue:
Anglais

Caractéristiques

EAN:
9783110486902
Date de parution :
24-09-18
Format:
Livre relié
Format numérique:
Genaaid
Dimensions :
170 mm x 244 mm
Poids :
653 g

Les avis