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Nanolithography
The Art of Fabricating Nanoelectronic and Nanophotonic Devices and Systems
286,45 €
+ 572 points
Description
Chapters cover lithographic techniques, including optical projection, extreme ultraviolet (EUV), nanoimprint, electron beam and ion beam lithography, and applications of nanolithography in nanoelectronics, nanophotonics and microfluidics.
Spécifications
Parties prenantes
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 592
- Collection :
Caractéristiques
- EAN:
- 9780857095008
- Date de parution :
- 13-11-13
- Format:
- Livre relié
- Dimensions :
- 181 mm x 243 mm
- Poids :
- 1012 g
Les avis
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