Description

Der vorliegende Band der "Dresdener BeitrÃ¤ge zur Sensorik" untersucht das reaktive Magnetron-Sputtern zur Abscheidung piezoelektrischer DÃ¼nnschichten auf der Basis von Aluminiumnitrid (AlN). Solche piezoelektrischen DÃ¼nnschichten lassen sich vorteilhaft fÃ¼r Sensoren und Aktoren verwenden. Der Abscheideprozess ermÃ¶glicht die homogene Herstellung auf einer groÃen FlÃ¤che von bis zu 200 mm Durchmesser bei gleichzeitig hoher Abscheiderate und HomogenitÃ¤t. Die Kenntnis der HaupteinflussgrÃ¶Ãen des Prozesses auf die Schichteigenschaften ermÃ¶glicht die wirtschaftliche Abscheidung von AlN-Schichten mit Dicken von bis zu mehreren 10 Mikrometern. Durch die Dotierung der Schichten mit Scandium lassen sich die piezoelektrischen Eigenschaften weiter verbessern, so dass sich vÃ¶llig neue Anwendungsgebiete erÃ¶ffnen.