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Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces EBOOK
Jean-Claude Sabonnadière, Michel De Labachelerie, René Le Doeuff, Jean-Pierre Goure, Jean-Louis Aucouturier, Joseph Borel, De Labachelerie Michel, René Castagné
105,00 €
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Description
Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de microm
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 326
- Langue:
- Français
- Collection :
- Tome:
- n° 1
Caractéristiques
- EAN:
- 9782746227071
- Date de parution :
- 31-05-08
- Format:
- Ebook
- Protection digitale:
- Digital watermarking
- Format numérique:
